MOCVD设备国产道路曲折

 中国电子报、电子信息产业网  作者:
发布时间:2013-12-10
放大缩小

  中科院苏州纳米所研究员、光达光电设备科技(嘉兴)有限公司CTO 梁秉文

  过去的6~7年中,中国用于进口MOCVD设备的经费约合100亿元人民币,其中各地方政府补贴经费高达70亿元左右。

  完整的MOCVD设备进口免税,而国产MOCVD制造过程中需要进口的一部分关键零部件需缴纳关税,使得现阶段国产设备处于劣势。

  对于很多像LED、PV、电动汽车、通讯(包括无线通讯和光纤通讯)等高科技领域来说,MOCVD无疑是非常重要和关键的设备,因为很多相关系统中所用到的器件和芯片都出自于MOCVD所生长和制作出的外延片。可是多年来,国内的MOCVD一直靠进口,国外设备占据了绝大部分份额,这种现状急需改变。

  巨头垄断市场

  国产设备处境艰难

  过去6~7年中,中国用于进口MOCVD设备的经费约15亿美元,其中各地方政府补贴经费高达70亿元左右。

  当前,美国的VEECO和德国的Aixtron公司垄断了全球近95%的市场。在过去的6~7年中,中国用于进口MOCVD设备的经费大约15亿美元,约合100亿元人民币,其中各地方政府补贴经费高达70亿元左右。为了半导体照明产业的发展,花费巨资购买所需要的关键设备本来无需质疑,可惜的是,我们花了这么多的钱,最后还是没有属于自己的核心设备技术和关键零部件。

  当已有的设备和技术落后了,不再有竞争优势了,甚至被淘汰了,或是我们需要更多设备的时候,我们还是要继续花费巨资向外国公司购买新的设备。当我们需要做些改进或者要加入自己的技术和想法时,原厂“敲诈勒索”要求付出高额的费用才配合我们做些有限的变动和修改,通常他们所要的费用是我们一般国内公司所无法承受的,最后结果是不了了之,保持原貌。所以说,这么多年来,中国应该是他们最大的客户,或者是一流的客户,但是得到的却是三流的待遇。在这种境况下,中国MOCVD的用户很难开发出属于自己的真正的核心技术和知识产权,因为真正重要的工艺技术一定是与设备捆绑在一起的。国家主管部门看到了MOCVD的重要性,因此在“十二五”规划中明确提出,到2015年实现MOCVD设备的国产化。

  2013年,国内在MOCVD设备国产化方面向前迈进了一大步,并且在市场推广方面取得了阶段性的成果。光达光电、中微半导体、中晟等公司所研制的MOCVD设备先后得到了各自用户的认可和验证,并得到了很多正面的评价,一扫过去的阴霾。大家从大量的实验结果中看到了MOCVD设备国产化的希望。正是这些公司最近几年来不懈的努力,将多年来人们对于MOCVD是否能够国产化的疑云驱散,使得MOCVD国产化逐步成为现实。从技术的角度,在初期,国产的MOCVD主要是在现有的成熟的平台上进行尝试和开发,有的采用高速旋转技术,有的以喷淋头技术为主,还有的是采取水平层流式,或是以上3种技术中某2种技术的嫁接与组合。不论如何,事实证明,现有国产设备在基本工艺和产出的外延片芯片的性能指标上都已经达到了现有进口设备的水平。所以说,MOCVD国产化在技术开发和技术落地上已经取得了初步的成功,并完成了第一阶段的目标。当然在大批量生产、可靠性、重复性、成本降低、关键零部件国产化,进一步的创新和各项指标优化等方面还有大量的工作要做。

  “崇洋”心理

  阻碍国产设备前进

  人们对于进口设备的迷信和对于国产设备的怀疑,使得宁愿进口设备也不想去冒任何风险。

  MOCVD的国产化面临着诸多挑战,除了上面提到的技术开发和落地外,更大的挑战在于人们对于国产MOCVD的怀疑。

  先从人们对于进口设备的迷信和对于国产设备的怀疑谈起。由于各种历史和客观的原因,目前的现实是中国人普遍迷信和喜爱进口商品。这一点,大家心知肚明。更重要的是,不论是Aixtron公司还是Veeco公司,在MOCVD设备开发和生产制造方面都有近30年的历史积累,一家只有3年左右历史的中国MOCVD公司如何能够生产出可以与具有30年经验的国际公司的成熟产品竞争的MOCVD设备,在很多人的心目中都会是一个大大的问号。所以,开始时大家抱着怀疑和观望的态度,等别人试好了,成熟了再用,都想做受益者,不想参与,不想付出,国产的MOCVD怎么会有机会呢?所以,为了要大家接受和相信国产的MOCVD,MOCVD的生产厂家必须付出相当大的代价去做,包括补贴给愿意试用的客户,承担所有或大部分费用。而且这样做,还不一定能够签下来订单。这样的现实使得MOCVD制造公司承受了巨大的财务和心理压力,同时也承担了许多的商业不确定性和风险。

  一免一减一缴

  让“国货”沦陷

  完整的MOCVD设备进口免税且有地方补贴,而购买国产设备需要全额支付。

  再看看产业与市场环境方面。由于2009年从扬州开始对于进口MOCVD进行高额补贴,各地纷纷效法,致使在2010年到2012年这3年期间,中国MOCVD的采购数量呈现井喷的现象。这期间中国总共进口了大约700台MOCVD设备,成为全球最大市场。Aixtron和Veeco2家公司也赚得钵满盆满。事实上,这段时间中国的LED照明产业并不需要那么多MOCVD机台。由于补贴额度巨大,加之有最低采购数量的要求,很多公司也只好盲目采购了大量的MOCVD机台,从而造成了MOCVD的产能阶段性过剩。

  2012年的下半年到2013年,中国LED照明行业也出现了类似于“三年自然灾害”的现象,产业一片萧条。中国的市场需求没有那么大,欧洲、美国、日本的经济又不景气,MOCVD的外延芯片产能远远大于实际市场应用需求,造成了中国LED行业从来没有过的低迷。最严重的时候,MOCVD的使用率只有30%左右,大部分设备闲置。正是在这样的大环境下,国产MOCVD横空出世。所以,有人感叹说“中国的MOCVD设备生不逢时”。由于取消的订单和一些LED芯片厂扩产计划的改变,造成了国际那2家公司有大量存货。他们在财务账目处理完后,进行了“半价”处理,这使得MOCVD市场环境更加恶劣。而且,从关税的角度讲,目前,完整的MOCVD设备进口是免税的,而国产MOCVD制造过程中需要进口的一部分关键零部件是需要缴纳关税的。这一免一减一缴,使得现阶段国产MOCVD在成本和价格上几乎无法与进口的设备竞争。更加严重的是,原来有些地方政府对于MOCVD的补贴政策还没有执行完,按照原来计划,他们手里还有100~200台MOCVD的补贴额度没有用完,还可以使用。也就是说,按照原来的方案,如果买进口MOCVD设备可能每台能得到500万~1000万元的补贴,但是如果买国产的,可能要支付全额。这叫国产的MOCVD如何进行竞争?!

  国产MOCVD面临上述的困境,政府还没有明确的解救措施和方案。地方政府补贴也好,关税政策也好,某种意义上阻挡了MOCVD国产化。国外公司正是借助于这些政策在中国实施“倾销”,从而继续占领中国市场。我们呼吁中央和各地相关政府部门采取行动,帮助解决这些问题,避免MOCVD的国产化被扼杀在摇篮之中。只有MOCVD实现了国产化,中国的LED照明产业才会有根基,才会在国际上真正有话语权。其他光电产业及电力电子、通讯、电动汽车等行业也会从中大大受益。


来源:中国电子报、电子信息产业网            责任编辑:张汝娟
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